- 民國 96 年 02 月 14 日
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一、本條新增。
二、九十四年十一月二十三日台南科學園區內某科技公司發生四氫化矽火災，造成一
人死亡，四氫化矽（silicon hydride）SiH4，又稱矽甲烷（silane、silicon
tetrahydride、monosilane），是生產多晶矽（polysilicon） 之原料，為矽晶
圓製程基本材料，廣泛用於生產晶圓、太陽能電池等產品及晶圓代工磊晶等高科
技產業，惟因四氫化矽爆炸下限（LEL） 百分之一．四，爆炸上限（UEL） 百分
之九十六，為一無色、會與空氣反應、有窒息性影響之氣體，其在常溫下與空氣
接觸發生自燃，無需點火源，遇洩漏隨時會燃燒，如釋放累積量大，將引發爆炸
，除依高壓氣體相關法規規定辦理外，為預防四氫化矽引起之危害，爰針對其特
殊性質，增訂本條規定。