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法規名稱:
職業安全衛生設施規則 (民國 109 年 03 月 02 日修正)
第 185-1 條
雇主對於常溫下具有自燃性之四氫化矽(矽甲烷)之處理,除依高壓氣體
相關法規規定外,應依下列規定辦理:
一、氣體設備應具有氣密之構造及防止氣體洩漏之必要設施,並設置氣體
    洩漏檢知警報系統。
二、氣體容器之閥門應具有限制最大流率之流率限制孔。
三、氣體應儲存於室外安全處所,如必須於室內儲存者,應置於有效通風
    換氣之處所,使用時應置於氣瓶櫃內。
四、未使用之氣體容器與供氣中之容器,應分隔放置。
五、提供必要之個人防護具,並使勞工確實使用。
六、避免使勞工單獨操作。
七、設置火災時,提供冷卻用途之灑水設備。
八、保持逃生路線暢通。
顯示立法理由
民國 96 年 02 月 14 日
一、本條新增。
二、九十四年十一月二十三日台南科學園區內某科技公司發生四氫化矽火災,造成一
    人死亡,四氫化矽(silicon hydride)SiH4,又稱矽甲烷(silane、silicon
    tetrahydride、monosilane),是生產多晶矽(polysilicon) 之原料,為矽晶
    圓製程基本材料,廣泛用於生產晶圓、太陽能電池等產品及晶圓代工磊晶等高科
    技產業,惟因四氫化矽爆炸下限(LEL) 百分之一.四,爆炸上限(UEL) 百分
    之九十六,為一無色、會與空氣反應、有窒息性影響之氣體,其在常溫下與空氣
    接觸發生自燃,無需點火源,遇洩漏隨時會燃燒,如釋放累積量大,將引發爆炸
    ,除依高壓氣體相關法規規定辦理外,為預防四氫化矽引起之危害,爰針對其特
    殊性質,增訂本條規定。
期  間 自民國 日 至
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